Viabilidad de películas delgadas de (Pb, Ca) TiO3 depositadas sobre Pt/TiO2/SiO2/Si(100) en aplicaciones de conmutación

Se han depositado láminas delgadas de (Pb,Ca)TiO3 sobre substratos de  Pt/TiO2/SiO2/Si(100) por centrifugación, partiendo de soluciones sintetizadas por sol -gel. La concentración de las soluciones y el contenido de PbO se seleccionaron para minimizar las tensiones de las láminas cristalizadas y obtener la adecuada estequiometria. La cristalización mediante un calentamiento rápido (RTP), conduce a láminas con orientaciones preferentes [001]/[001], reducida capa interfacial ferroeléctrico-Pt y composición deseada. Los parámetros ferroeléctricos obtenidos muestran una mejora de las propiedades. Estas láminas presentan una fatiga y envejecimiento mucho más moderados que otros  materiales alternativos depositados sobre substratos iguales, lo que permite considerar al método descrito como muy valioso para conseguir materiales susceptibles de emplear en aplicaciones de conmutación.

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