Influencia de los parámetros de procesado y del substrato en la orientación preferente de láminas delgadas de titanato de plomo modificado con calcio preparadas por Sol-Gel

En este trabajo se muestran las características texturales de láminas de Pb0.76Ca0.24TiO3 preparadas por sol-gel sobre tres substratos diferentes: Pt/Ti/SiO2/Si, Ti/Pt/Ti/SiO2/Si y Pt/TiO2/SiO2/Si. Las láminas se depositaron mediante la técnica de centrifugación de la solución precursora, con una concentración muy baja, sobre el substrato, y su posterior secado a 350ºC y cristalización a 650ºC, utilizando una velocidad de caldeo de ~30.4sºC/s. Cada capa de ferroeléctrico obtenida después de este proceso tenía un espesor de ~75 nm. De esta forma se depositaron cuatro capas sucesivas de ferroeléctrico hasta alcanzar un espesor de la lámina de ~300 nm. La textura de las láminas de Pb0.76Ca0.24TiO3 sobre los distintos substratos se estudió mediante difracción de rayos X. La fases cristalinas existentes sobre la superficie de cada uno de los substratos se identificaron mediante difracción de rayos X con ángulo rasante. La lámina de Pb0.76TiO3 depositada sobre Ti/Pt/Ti/SiO2/Si presentó una Ca0.24orientación preferente en el eje 111 de la perovskita. En esta muestra se midió un coeficiente piroeléctrico espontáneo de γ ~6.49× 10-9Ccm-2K-1.

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