«LA FORMACIO N DE LAS FASES ay ß DEL NITRURO DE SILICIO MEDIANTE REACCIÓN-SINTERIZADO»

El
objet
o de esta investigación ha sido el identificar los factores que determinan la formación de las fases OCyß del nitruro de silicio en la formación de este compuesto mediante reacción-sinterizado de polvo de silicio, y el establecer sus mecanismos de acción. Se han utilizado cuatro tipos diferentes de polvo de silicio, que se han caracterizado mediante análisis de tamaño de partícula, superficie específica, y análisis químico de contaminantes metálicos y oxígeno. Los compactos de su?icio se nitruraron en atmósfera de nitrógeno, a temperaturas por debajo del punto de fusión del silicio.
Se ha estudiado el efecto sobre la formación de una y otra fase de un cierto número de variables: temperatura y tiempo de la reacción, adiciones de sílice, y tratamiento previo de los compactos en , atmósfera nitrógeno + hidrógeno.
Es posible alcanzar una mejor comprensión del proceso de nitruración si no se considera el fenómeno global, sino dos reacciones diferentes productoras de la fase 0¿ y de la fase ß respectivamente. Se propone un modelo de nitruración según el cual la fase ß estaría producida por reacción entre silicio y nitrógeno en la fase vapor. La formación de la fase 0¿ es promovida por la presencia de oxígeno en el sistema, y podría resultar de la nitruración del monóxido de silicio. Se sugieren razones que explicarían la diferencia en el comportamiento, durante la nitruración, d los diferentes polvos de silicio.

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