Caracterización de láminas delgadas ferroeléctricas por nanoidentación.

Se han usado técnicas de nanoindentación para determinar las propiedades mecánicas de dos láminas delgadas ferroeléctricas de Pb0.88TiO3 bien caracterizadas y que se han considerado prometedoras para aplicaciones MEMs. También se han
La0.08realizado medidas en una cerámica con la misma composición nominal y en el sustrato de las láminas como ayuda para la interpretación de los resultados. Se han desarrollado rutinas usando la geometría de indentación con esfera para distinguir las deformaciones elástica y permanente del material. Podría ser posible obtener parámetros mecánicos de las distintas capas de la heteroestructura lámina sustrato mediante el uso de indentadores con radio distinto. La técnica proporciona información sobre el modulo elástico de la lámina, el comienzo y la naturaleza de la deformación permanente, delaminación y el efecto de la porosidad y las tensiones residuales. Estas técnicas abren la posibilidad de caracterizar completamente la respuesta mecánica de un microdispositivo.

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