Ferroelectricos integrados para aplicaciones de sensor y condensador

Los materiales ferroelectricos poseen un rango único de propiedades tales como alta constante dieléctrica, piroelectricidad y pie-zoelectricidad, que hacen posible diversas aplicaciones. La combinación de materiales ferroelectricos en forma de lámina delgada dentro del campo emergente del micromecanizado han producido nuevas y novedosas aplicaciones. Aunque hay distintas rutas disponibles para la fabricación de láminas delgadas, la vía de solución se presenta como el proceso más simple, compatible con el equipamiento de procesado existente para semiconductores. Esta ruta ofrece una escala de fabricación de obleas de bajo coste, con un potencial de funcionamiento mejorado. En GEC-Marconi Infra-Red Limited, los materiales con composiciones dentro de las soluciones sólidas de PZT (PbZr^Ti^_^03) se han estudiado sistemáticamente utilizando un método de deposición de recubrimien-to por rotación modificado, para aplicaciones de matrices piroeléctricas 2-D sin refrigeración y en condensadores desacoplados MCM-D. Adicionalmente, la utilizazión de técnicas, de Difracción de Rayos X (DRX), espectroscopia Auger y microscopía electró-nica de transmisión y de barrido (TEM, STEM) han proporcionado considerables aspectos a destacar sobre la determinación de la estructura, homogeneidad de la película, y energía de activación de la formación para la composición PZT (30/70) en particular.

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